| 加工定制：是 | 品牌：SIERRA | 型号：101 |
| 类型：质量流量计 | 测量范围：0.1sccm-4sccmm3/h | 精度等级：1级 |
| 公称通径： 1/8“-1/4“卡套mm | 适用介质：气体 | 工作压力：34.5bargMPa |
| 工作温度：0-50℃ | 规格：316L不锈钢 |
特征：
测量及控制气体流量从4sccm（smlm）低至0.1sccm(smlm)
Dial-A-Gas多气体切换性能为客户提供10种不同气体的测量及控制
支持数字通讯
MODBUS
Profibus DP
FF
Device Net
可选Compod 控制模块编程流量系统和过程控制
所有的控制功能都可以通过PC或者工作站实现。
316 不锈钢的结构适用于所有清洁气体包括有毒和腐蚀性气体。
尺寸小，安装更方便。
单边电源输入降低了安装成本及复杂性。
每一台Micro-Trak 仪表都包括：RS-232通讯、模拟通讯适用于Windows操作系统的软件。
源代码
标定证书
电气或电缆
说明：
Micro-Trak测量和控制微小的气体质量流量在过去都被 视为一个过低且不可靠的读数。为此，Micro-Trak专门为流量在0.1-4sccm（smlm）设计了这款流量计及控制仪。
101 Micro-Trak 是专门为那些需要***的气体微质量流量（其中包括腐蚀性气体及有毒气体）的用户精心设计的一款产品。Micro-Trak 的发明是基于 SIERRA 获奖数字系列仪表。所以操作简单，现场标定，多气体切换，应用的灵活性都是它的标准特点。
性能规格:
精度：
标准标定：±1.0%满量程及***工作条件下的线性度（100M在201-300slpm时精度为2%的满量程）
Dial-A-Gas?：±1.0%的满量程（所有内置的10种气体）
重复性：±0.2%的满量程
温度系数：±0.025%的满量程每°F（0.05%的满量程°C）或更小
压力系数：±0.01%的满量程每psi（0.15%的满量程bar）或更小
响应时间：由安装总体积决定。的安装建议请联系SIERRA 公司。
气体：可测量及控制所有清洁气体包括腐蚀性和有毒气体，订购时请指明。
以下表格中的10种气体组成了Dial-A-Gas的特征，表格中的气体可用其它气体替代，最多可替换9种气体，空气需要保留。
***流量范围760mm汞柱，21°C（70°F）下的氮气流量，用其他单位表示的范围也可以提供（例如：nlpm，scfh，nm3/h，kg/h）
气体和环境温度：
32到122°F（0到50°C）
标准气体压力：
压力500psig（34.5barg），爆炸测试可高达51.7 barg
高压：
压力5000psig（345barg），爆炸测试可高达517 barg
泄露参数：
5X10-9atm cc/sec 氦气或***
控制范围：
2-***满量程，1.9%时阀门自动关断
与介质接触材质：
316不锈钢或相同规格的不锈钢，416不锈钢，O-型密封圈或者标准底座，也可提供其它材料（请咨询厂家）。
流过仪表的压降：0.36PSI(24.5mbar)
控制仪所要求的压差: 30psi(2040mbar)
21°C，1psi(68mbar)最小，出口压力为环境压力。
电源要求：（电压噪声纹波峰谷差值不超过100mV）
质量流量计：15到24VDC±10% (130mA)
质量流量控制器（C101）: 24VDC10%±10%(规定400mA)
输出信号：
模拟：参照100系列（P2）
数字：
RS-232，Pilot Module显示可选。
数字通讯:
RS-232，RS-485可选
Profibus DP
FF总线
DeviceNet?
RS-485与Modbus RTU 通信协议允许多点数字联网
物理规格:
所有标注尺寸均为英寸，括号内为毫米单位。
可应要求提供图纸。
